通過不斷的檢測，可以確認(rèn)和量化那些真正需要ESD保護(hù)的區(qū)域(EPA)，將人力和物力集中到那里,同時確認(rèn)哪些是靜電安全區(qū)域，節(jié)省不必要的開支；確保所有進(jìn)入EPA環(huán)境中的人和物品的靜電安全性；保障ESD設(shè)備正常、有效的運(yùn)作。
生產(chǎn)過程中關(guān)注的靜電參數(shù)有電場強(qiáng)度、靜電電位、電荷量和電阻率。電荷量是靜電最本質(zhì)的物理量，但現(xiàn)場測量不方便，通常代以測量物體表面的靜電電位，測量時常采用非接觸式靜電電壓表，不與被測物體接觸，因而對被測物體的靜電影響很小。物體的防靜電性能可通過檢測其表面電阻率或體電阻率來鑒定，而電場強(qiáng)度表征了工作環(huán)境中靜電積聚的能量，對EPA的確定至關(guān)重要。常用的檢測儀器有場強(qiáng)計(jì)、手/腳腕帶檢測儀、表面阻抗測試儀、靜電電壓表、電荷量表等，最新的綜合監(jiān)測設(shè)備可對區(qū)域中的靜電狀況全面監(jiān)測，任一參數(shù)超標(biāo)即自動報警。
檢測是ESD控制的必要手段，應(yīng)在生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)中實(shí)時進(jìn)行。操作員每次進(jìn)入EPA之前需測試手/腳腕帶、防靜電鞋、防靜電工作服的性能；必須有專人負(fù)責(zé)EPA的檢測與維護(hù)，定期檢查各種ESD設(shè)備、用具、接地裝置是否滿足防靜電的要求；管理人員應(yīng)定期檢查各個工位的防靜電情況，發(fā)現(xiàn)不符合要求時，要實(shí)時整改；檢測結(jié)果要整理歸檔并作為質(zhì)量管理體系認(rèn)證的一部分加以核查。
靜電防護(hù)靜電消除是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，必須貫徹整體防護(hù)思想，綜合運(yùn)用均壓、接地、泄流、屏蔽和箝位等技術(shù)，構(gòu)成一個完整的防護(hù)體系，才能取得明顯的效果。
