實(shí)用的ESD管理規(guī)范
實(shí)用的ESD管理規(guī)范
1、目的:防止半導(dǎo)體產(chǎn)品在生產(chǎn),搬運(yùn),存儲(chǔ),包裝過程中受到靜電放電的損壞而制定本程序書
2、 適用范圍﹕適用于電子生產(chǎn),軍工,航空航天等企業(yè)﹒
3、責(zé)任﹕
3.1靜電防護(hù)區(qū)域的所有人員必須執(zhí)行本程序書的要求﹒
3.2制造部經(jīng)理/各級(jí)主管/工程師應(yīng)保證本部門所有人員都經(jīng)過適當(dāng)?shù)腅SD培訓(xùn)﹐所有的設(shè)備﹐物料都得到了適當(dāng)?shù)腅SD保護(hù)﹒品保部人員應(yīng)該定期稽核所有靜電防護(hù)區(qū)域以確保本程序書的實(shí)施﹒
4、定義:
4.1 ESD ELECTROSTATIC DISCHARGE 靜電放電,由靜電場(chǎng)引起的在兩個(gè)不等電位物體之間的放電電流.
4.2 ESD防護(hù)區(qū)域 裝備了足夠的ESD防護(hù)材料和設(shè)備以防止限制ESD損壞的生產(chǎn)和存儲(chǔ)區(qū)域,在本公司以下區(qū)域?yàn)镋SD防護(hù)區(qū)域: 生產(chǎn)車間(POWER\MOTHERBOARD(DIP SMT )/SYSTEM),QA試驗(yàn)室(IQC/BURN IN ROME),資材倉庫,制工維修部.
4.3 ESD防護(hù)材料 有以下一種和幾種作用的材料:1)限制靜電的產(chǎn)生;2)積累于其上的靜電荷迅速消散;3)靜電屏蔽.靜電防護(hù)材料根據(jù)其表面電阻又分為:導(dǎo)電材料(<10E5Ω),靜電消散材料(10E5Ω-10E9Ω)和抗靜電材料(10 E9Ω-10E14Ω).
4.4 ESDS ELECTROSTATIC DISCHARGE SENSITIVE靜電放電敏感度,產(chǎn)品因?yàn)殪o電放電而導(dǎo)致質(zhì)量下降.
4.5 FACILITY GROUND 指一塊埋在地下的金屬導(dǎo)體,是全廠地線網(wǎng)絡(luò)的匯集點(diǎn),全廠的所有地線都應(yīng)直接或間接地與它相連接.
4.6硬接地 直接或通過一個(gè)小電阻與FACILITY GROUND相連接.
4.7軟接地 通過一個(gè)足夠大的電阻與FACILITY GROUND 相連,以便由ESD引起的電流不大于5MA.
5、靜電防護(hù)工具﹕接地銅塊﹐接地電阻﹐接地線﹐靜電環(huán)﹐靜電衣﹐靜電鞋﹐靜電環(huán)點(diǎn)檢儀﹐接地銅編織帶,靜電鞋.檢查儀﹒
6、程序內(nèi)容﹕
6.1 ESD防護(hù)區(qū)域的所有工作臺(tái)﹐推車﹐貨架﹐機(jī)器防靜電地板都可靠接地﹒
6.1.1工作臺(tái)上的表面板是軟接地﹐方法是通過一個(gè)1M的電阻與FACILITY GROUNG相連﹒
6.1.2防靜電貨架應(yīng)為軟接地﹐接地電阻應(yīng)在1M-10MΩ電阻之間﹒
6.1.3防靜電推車應(yīng)通過銅編織帶﹐導(dǎo)電輪或?qū)щ婃溑c導(dǎo)電地板接觸﹒
6.1.4防靜電地板應(yīng)每半年由廠務(wù)檢查一次﹐其表面電阻在1M-10MΩ之間﹐保證其防靜電效果﹒
6.1.5所有機(jī)器應(yīng)通過電源或可靠地接地﹐同時(shí)在機(jī)器上應(yīng)有ESD監(jiān)控措施﹐以便操作員在操作機(jī)器時(shí)進(jìn)行ESD防護(hù)﹒
6.1.6操作員應(yīng)佩帶靜電環(huán)以實(shí)現(xiàn)軟接地﹐必須保證靜電環(huán)接觸皮膚﹐所有靜電保護(hù)區(qū)域的人員都應(yīng)通過靜電環(huán)檢查﹒靜電環(huán)本身電阻應(yīng)在200K-5M之間﹐佩帶時(shí)手與插頭之間的電阻應(yīng)為小于100M﹒
6.1.7進(jìn)入靜電保護(hù)區(qū)域的人員必須穿靜電服﹐靜電鞋(或鞋套),靜電服的紐扣應(yīng)扣緊﹐應(yīng)保持靜電服與手腕的接觸﹒
6.1.8每季度個(gè)區(qū)域ESD防護(hù)負(fù)責(zé)人員應(yīng)對(duì)所有機(jī)臺(tái)﹐工作臺(tái)﹐貨架﹐推車的接地狀況作一次全面檢查﹐通過后才能使用﹒
6.1.9對(duì)循環(huán)用料盒﹐每4個(gè)月報(bào)廢一次﹐并在每第三個(gè)月時(shí)﹐抽測(cè)其中5只送交QA檢查﹐如失效立即報(bào)廢﹐以起到防靜電效果﹒
6.2 操作
在產(chǎn)品的裝配﹐測(cè)試﹐外觀檢查﹐分析﹐穩(wěn)定性測(cè)試過程中﹐如果產(chǎn)品是放在有靜電屏蔽的外包裝盒﹐則其擺放位置和取放方式不受限制﹒
6.2.1 產(chǎn)品應(yīng)置于可靠接地的工作臺(tái)﹐推車﹐貨架和機(jī)臺(tái)上﹒
6.2.2 操作員應(yīng)佩帶靜電環(huán)軟接地﹒
6.2.3 對(duì)于報(bào)廢器件不受此限制﹒
6.3 標(biāo)志﹕
6.3.1 ESD防護(hù)區(qū)域應(yīng)貼有專用的ESD標(biāo)簽以提示操作人員﹐ESD標(biāo)簽上應(yīng)有檢查人員簽字與檢查日期﹒
6.3.2出貨包裝盒上應(yīng)印有ESDS的警告字樣或貼有專用的ESD標(biāo)簽﹒
*** 產(chǎn)品在存放或運(yùn)到一個(gè)非ESD保護(hù)區(qū)域時(shí)應(yīng)裝在容器中﹐這個(gè)容器應(yīng)至少有一層導(dǎo)電層以屏蔽靜電場(chǎng)﹒
6.5 所有接觸ESD敏感材料的人員應(yīng)接受ESD課程的培訓(xùn)﹐新員工在開始工作前接受此項(xiàng)培訓(xùn)﹒
